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矽材料應用
信息來源:不詳 發布時間:2014-7-31  分享到:

上圖為利用DRIE工藝研製的矽擒縱輪


上圖為利用DRIE工藝研製的矽遊絲


上圖為利用DRIE工藝研製的矽擒縱叉

    單晶矽的密度大約為鋼的1/3 ,線脹係數是鋼的1/5,彈性模量與鋼相當,具有較高的硬度,具有美麗的色澤和良好的抗腐蝕性,硬脆,易沿某個晶麵開裂。除上述性能外,矽材料具有較低摩擦係數、無磁性、低的內耗。除此之外實驗表明,利用MEMS技術加工的單晶矽擒縱調速零件,解決了擒縱輪齒形分布不均勻,遊絲動態過程中,中心的偏移產生的幹擾力矩等因素對等時性的影響,有效提高了走時精度。





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